EIKOSは、主として金属材料に特化した高速・高性能の廉価版3次元アトムプローブです。サブnmの空間分解能で元素を3次元マッピングすることにより元素分布を3次元で解析することができます。
3次元アトムプローブは針状の試料に強い電界を印加させることにより試料最表面の原子を1つ1つイオン化脱離する電界蒸発を利用しています。
EIKOS シリーズには、金属材料などの導電性材料の分析に特化した電圧パルス型EIKOSと半導体の測定にも対応する可視光(532nm)レーザパルスモード搭載型EIKOS-Xがあります。
ご好評頂いている高性能3次元アトムプローブLEAP5000に対し、EIKOSでは、試料電極、クライオステージ、並びに可視光レーザユニット(EIKOS-Xのみ)を簡素化することで装置本体価格、並びにランニングコストを抑えた装置となっております。
従来の装置から改良されたディレイライン検出器により原子の3次元位置情報(X,Y,Z)を最大で37%の検出効率で取得すると同時に飛行時間型質量分析により検出したイオンを同定します。LEAPで得られたデータは、深さプロファイルなどの1次元解析、及び材料中の析出物・クラスターの濃度分布や密度、内部界面の面粗さなど2次元・3次元の解析を可能にします。
