SXFiveとSXFiveFEは、これまでCAMECAで培われてきた電子線マイクロアナライザの技術に加え、改良型の電子ビームカラムを搭載することで、高精度、高感度、かつ高空間分解能での観察および元素分析を実現しました。地球科学、材料科学、生命科学といった幅広い分野で活躍しています。
SXFiveはW、およびLaB6のいずれの電子銃にも対応できるよう設計されています。SXFiveFEには、電界放出型電子銃を搭載しており、更に高空間分解能での分析が行えます。
高精度定量分析に適した波長分散型X線分光器を最大5つまで搭載可能です。更に大きなサイズの分光結晶を採用することで、様々な試料に対し高速かつ高感度の分析を実現しました。
不透明試料では反射光、薄片試料では透過光を用いてCCDカメラによる観察が可能で、250μmから1750μmまで視野を連続的に変えることが可能です。
