SIMS 4550は、四重極質量分析計と独特なFLIG™技術により、深さ分解能の良い分析が可能です。
あらゆるスパッタ条件に柔軟に対応（1次イオン入射角、エネルギー、イオン種）でき、Si、high-K、SiGe、さらには、光学デバイスに利用されるIII-V系材料の、極浅分析、微量分析、および組成分析に最適な性能を提供いたします。
四重極質量分析計は、セクター磁場質量分析計に比べてコンパクトです。試料引き出し電位が低いので、1次イオンエネルギーの低下が容易であり、試料周りの自由度が大きく、1次イオン入射角度を自由に選ぶことができます。
FLIG™ (Floating Low-energy Ion Gun)技術による高輝度でフォーカスされた低エネルギーイオンにより深さ分解能の良い分析が可能です。独特の光学系によりイオンガンの調整も容易です。
大きな試料予備室（twister）に多数の試料ホルダー（最大4インチ）を保持することができます。Twister内にある試料すべてを自動分析することも可能です。
